Dome Fixturing System
중소형 양산 라인업으로 안경 렌즈와 고정밀 광학 코팅에 최적화되며, 안정적인 메탈 코팅 공정까지 대응합니다.
| 적용 분야 | 안경 코팅 - AR 및 내구성 강화 코팅 - 안경 렌즈 - ZrO₂, SiO₂ 등 렌즈 코팅 - Vis/IR 영역 고정밀 광학 코팅 - 방위 산업용 렌즈, 의료기기 등 - Ti₃O₅, Ta₂O₅, HfO₂, Nb₂O₅, MgF₂, SiO₂, Al₂O₃ 등 메탈 코팅 - 기능성 및 데코레이션 코팅 - 각종 웨이퍼, 외내장재, 액세서리 등 - Ti, Cu, Al, Cr, Ag, Au 등 |
|---|---|
| 증착방식 | Electron Beam System / Ion Beam IAD Resistance Heating System |
기본 사양이며, 고객의 요청에 의한 맞춤형 사양 변경이 가능합니다.
| Chamber | Dia. 800~1350mm | 1 set |
| Roughing System (RP) | 5,100liter/min (챔버별 최적 용량 적용) | 1 set |
| Roughing System (MBP) | 1,435m3/hr (챔버별 최적 용량 적용) | 1 set |
| Turbo Molecular Pump | 4,200liter/sec | 2 set |
| PolyCold w/meissner trap | For chamber | 1 set |
| Valve System | High Vac./ Low Vac./ Vent Valve | 1 set |
| Electron Beam | 10kVA 6~16pocket x 25cc | 1~2 set |
| RF Ion Beam Source | RF 25cm | 1 set |
| or Ion Beam Source (End-Hall Type) |
최대 출력 4kW | 1 set |
| QCM | XDC/K1 or IMC300 | 1 set |
| Measuring Sensor | Six Sensor Head@6MHz | 1 set |
| High Vacuum | Penning Sensor | 1 ea |
| Low Vacuum | Pirani Sensor | 2 ea |
| Auto Pressure Controller | MFC for Oxygen | 1 set |
| Micro Heater | 13.56kW | 1 set |
| Halogen Heater | 9~15 kW | 1 set |
| Fixturing Guide | SUS | 1 set |
| Sector Dome | 3 or 4 Sector | 2 set |
| Rotation | 0~25 RPM / Ferro Seal | 1 set |
| PLC Control Rack | 19” Rack | 1 set |
| Process Control | OPCON System | 1 set |
| Chamber | 3,000~5,000kg |
| Roughing System (RP / MBP) | 370kg |
| Control Box | 700kg |
| PolyCold | 550kg |
| Electron Beam PS | 380kg |
| Ion Beam PS | 120kg |
| Power | 60~90kW 3ph 4P 50 or 60Hz (50mm2) |
| AVR | 20kVA electronic type (220V 3ph) |
| Earth | Class A (Below 4Ω) |
| 3,500W x 5,100D x 2,900mm (Excluding space for Work & Chiller) |
| Compressed Air | 6kg.f/cm2 100LPM w/mist 필터 |
| Cooling Water | 3kg.f/cm2 120LPM/ Inlet & Outlet |
| Gas | Ar, O2 (99.99%) |
| Exhaust | 3’ tapped hose to pump exhaust |
우수한 생산성 / 균일한 코팅 품질
Dome Fixturing System
Electron Beam Source
Ion Beam Source
