SVC-2050 Series

SVC-2050 Series

디스플레이, 자동차 외장재, 가전, 모바일 코팅 (중형)
Dia. Ø2050 ~ 2700

적용 공정

최대형 양산 라인업으로 자동차 외장재, 대형 사출물, EMI 차폐 코팅까지 대면적 공정에 최적화된 모델입니다.

적용 분야 디스플레이 및 대형 사출물 코팅
- 대면적 디스플레이 부품, 대형 플라스틱 사출물
- 색상, 반사율, 내구성 제어를 위한 기능성 박막
- SiO₂, Al₂O₃, TiO₂, 금속 박막 등

자동차 외장재 및 가전 코팅
- 자동차 내외장 부품, 가전 외장 부품
- 장식성, 내마모성, 내환경성 향상 코팅
- Ti, Cr, Al, Cu, Ag 등 메탈 데코레이션 박막

모바일 및 EMI 차폐 코팅
- 모바일 외장 부품, 전자기기 하우징
- EMI 차폐 및 기능성 메탈 코팅
- 대량 생산에 적합한 균일 박막 공정
증착방식 Electron Beam System / Ion Beam IAD
Resistance Heating System
대면적 코팅에서도 균일한 품질을 유지하며, 대용량 챔버 구성으로 고객사의 생산 효율을 극대화합니다.
Electron Beam Source
Resistance Heating Source
Ion Beam Source(End-Hall Type or RF Type)
Halogen Lamp
High Vacuum Pumping System

Specifications

기본 사양이며, 고객의 요청에 의한 맞춤형 사양 변경이 가능합니다.

Vacuum System
Chamber Dia. 2050~2700mm 1 set
Roughing System (RP) 5,100liter/min (챔버별 최적 용량 적용) 1 set
Roughing System (MBP) 1,435m3/hr (챔버별 최적 용량 적용) 2 set
Turbo Molecular Pump 4,200liter/sec 2 set
PolyCold w/meissner trap For chamber 2 set
Valve System High Vac./ Low Vac./ Vent Valve 1 set
Sources
Electron Beam 10kVA 12~24pocket x 12cc 1~2 set
RF Ion Beam Source RF 25cm 1 set
or Ion Beam Source
(End-Hall Type)		 최대 출력 4kW 2 set
Film Thickness Control
QCM XDC/K1 or IMC300 1 set
Measuring Sensor Six Sensor Head@6MHz 1 set
Vacuum Control
High Vacuum Penning Sensor 1 ea
Low Vacuum Pirani Sensor 2 ea
Auto Pressure Controller MFC for Oxygen 1 set
Substrate Heating System
Micro Heater 13.56kW 1 set
Halogen Heater 12~24 kW 1 set
Substrate Holder & Rotation System
Fixturing Guide SUS 1 set
Sector Dome 3 or 4 Sector 2 set
Rotation 0~25 RPM / Ferro Seal 1 set
Control System
PLC Control Rack 19” Rack 1 set
Process Control OPCON System 1 set
Weight
Chamber 7,500~15,000kg
Roughing System (RP / MBP) 370kg
Control Box 700kg
PolyCold 550kg
Electron Beam PS 380kg
Ion Beam PS 120kg
Electricity
Power 95~135kW 3ph 4P 50 or 60Hz (50mm2)
AVR 20kVA electronic type (220V 3ph)
Earth Class A (Below 4Ω)
Foot Print
3,500W x 5,100D x 2,900mm (Excluding space for Work & Chiller)
Others
Compressed Air 6kg.f/cm2 100LPM w/mist 필터
Cooling Water 3kg.f/cm2 120LPM/ Inlet & Outlet
Gas Ar, O2 (99.99%)
Exhaust 3’ tapped hose to pump exhaust

Electron Beam System

우수한 생산성 / 균일한 코팅 품질

Dome Fixturing System

Dome Fixturing System

Electron Beam Source

Electron Beam Source

Ion Beam Source

Ion Beam Source

전장비 공통 특징

완전자동화

Process Control

Data Logging

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