SY VACUUM

SVC-2700 Series

디스플레이, 자동차 외장재, 가전, 모바일 코팅 (대형)
Dia. Ø2050 ~ 2700

적용 공정

최대형 양산 라인업으로 자동차 외장재, 대형 사출물, EMI 차폐 코팅까지 대면적 공정에 최적화된 모델입니다.

적용 분야	디스플레이 및 대형 사출물 코팅 - 대면적 디스플레이 부품, 대형 플라스틱 사출물 - 색상, 반사율, 내구성 제어를 위한 기능성 박막 - SiO₂, Al₂O₃, TiO₂, 금속 박막 등 자동차 외장재 및 가전 코팅 - 자동차 내외장 부품, 가전 외장 부품 - 장식성, 내마모성, 내환경성 향상 코팅 - Ti, Cr, Al, Cu, Ag 등 메탈 데코레이션 박막 모바일 및 EMI 차폐 코팅 - 모바일 외장 부품, 전자기기 하우징 - EMI 차폐 및 기능성 메탈 코팅 - 대량 생산에 적합한 균일 박막 공정
증착방식	Electron Beam System / Ion Beam IAD Resistance Heating System

적용 분야

디스플레이 및 대형 사출물 코팅
- 대면적 디스플레이 부품, 대형 플라스틱 사출물
- 색상, 반사율, 내구성 제어를 위한 기능성 박막
- SiO₂, Al₂O₃, TiO₂, 금속 박막 등

자동차 외장재 및 가전 코팅
- 자동차 내외장 부품, 가전 외장 부품
- 장식성, 내마모성, 내환경성 향상 코팅
- Ti, Cr, Al, Cu, Ag 등 메탈 데코레이션 박막

모바일 및 EMI 차폐 코팅
- 모바일 외장 부품, 전자기기 하우징
- EMI 차폐 및 기능성 메탈 코팅
- 대량 생산에 적합한 균일 박막 공정

증착방식

Electron Beam System / Ion Beam IAD
Resistance Heating System

대면적 코팅에서도 균일한 품질을 유지하며, 대용량 챔버 구성으로 고객사의 생산 효율을 극대화합니다.

Electron Beam Source

Resistance Heating Source

Ion Beam Source(End-Hall Type or RF Type)

Halogen Lamp

High Vacuum Pumping System

Specifications

기본 사양이며, 고객의 요청에 의한 맞춤형 사양 변경이 가능합니다.

Vacuum System

Chamber	Dia. 2050~2700mm	1 set
Roughing System (RP)	5,100liter/min (챔버별 최적 용량 적용)	1 set
Roughing System (MBP)	1,435m3/hr (챔버별 최적 용량 적용)	2 set
Turbo Molecular Pump	4,200liter/sec	2 set
PolyCold w/meissner trap	For chamber	2 set
Valve System	High Vac./ Low Vac./ Vent Valve	1 set

Sources

Electron Beam	10kVA 12~24pocket x 12cc	1~2 set
RF Ion Beam Source	RF 25cm	1 set
or Ion Beam Source (End-Hall Type)	최대 출력 4kW	2 set

Film Thickness Control

QCM	XDC/K1 or IMC300	1 set
Measuring Sensor	Six Sensor Head@6MHz	1 set

Vacuum Control

High Vacuum	Penning Sensor	1 ea
Low Vacuum	Pirani Sensor	2 ea
Auto Pressure Controller	MFC for Oxygen	1 set

Substrate Heating System

Micro Heater	13.56kW	1 set
Halogen Heater	12~24 kW	1 set

Substrate Holder & Rotation System

Fixturing Guide	SUS	1 set
Sector Dome	3 or 4 Sector	2 set
Rotation	0~25 RPM / Ferro Seal	1 set

Control System

PLC Control Rack	19” Rack	1 set
Process Control	OPCON System	1 set

Weight

Chamber	7,500~15,000kg
Roughing System (RP / MBP)	370kg
Control Box	700kg
PolyCold	550kg
Electron Beam PS	380kg
Ion Beam PS	120kg

Electricity

Power	95~135kW 3ph 4P 50 or 60Hz (50mm2)
AVR	20kVA electronic type (220V 3ph)
Earth	Class A (Below 4Ω)

Foot Print

3,500W x 5,100D x 2,900mm (Excluding space for Work & Chiller)

Others

Compressed Air	6kg.f/cm2 100LPM w/mist 필터
Cooling Water	3kg.f/cm2 120LPM/ Inlet & Outlet
Gas	Ar, O2 (99.99%)
Exhaust	3’ tapped hose to pump exhaust

Electron Beam System

우수한 생산성 / 균일한 코팅 품질

Dome Fixturing System

Electron Beam Source

Ion Beam Source

전장비 공통 특징

완전자동화

Process Control

Data Logging

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