장비 정면
진공 환경에서 산화와 오염을 줄이고 소재 특성에 맞춘 안정적인 열처리 공정을 지원하는 장비
| 적용 분야 | 고진공 환경을 유지하여 부품 및 기재 표면의 산화 현상 없는 정밀 열처리 각종 금속, 세라믹 기구물 등의 내부 응력 제거, 경도 향상 및 물리적 특성 개선 제품 형상과 소재 물성에 따른 맞춤형 온도 프로파일(레시피) 정밀 제어 |
|---|---|
| 증착 방식 | Custom Vacuum Heating System |
기본 사양이며, 고객의 요청에 의한 맞춤형 사양 변경이 가능합니다.
| Chamber | Dia. 600~2,800mm | 1 set |
| Roughing System (RP) | 5,100liter/min (챔버별 최적 용량 적용) | 1 set |
| Roughing System (MBP) | 1,435m3/hr (챔버별 최적 용량 적용) | 1 set |
| Turbo Molecular Pump | 4,200liter/sec | 2 set |
| PolyCold w/meissner trap | For chamber | 1 set |
| Valve System | High Vac./ Low Vac./ Vent Valve | 1 set |
| High Vacuum | Penning Sensor | 1 ea |
| Low Vacuum | Pirani Sensor | 2 ea |
| Halogen Heater | 12~24 kW | 1 set |
| PLC Control Rack | 19” Rack | 1 set |
| Process Control | OPCON System | 1 set |
| Chamber | 7,500~15,000g |
| Roughing System (RP / MBP) | 370kg |
| Control Box | 700kg |
| Power | 95~135kW 3ph 4P 50 or 60Hz (50mm2) |
| AVR | 20kVA electronic type (220V 3ph) |
| Earth | Class A (Below 4Ω) |
| 3,500W x 5,100D x 2,900mm (Excluding space for Work & Chiller) |
| Compressed Air | 6kg.f/cm2 100LPM w/mist 필터 |
| Cooling Water | 3kg.f/cm2 120LPM/ Inlet & Outlet |
| Gas | Ar, O2 (99.99%) |
| Exhaust | 3’ tapped hose to pump exhaust |
진공 열처리 장비의 정면, 챔버 개방, 후면 구성을 확인할 수 있는 장비 이미지입니다.
장비 정면
챔버 OPEN
장비 후면
