인라인 스퍼터

인라인 스퍼터

연속 이송 공정에 맞춰 균일한 박막 코팅과 안정적인 생산 흐름을 지원

적용 공정

연속 이송이 필요한 기판 코팅 공정에 맞춰 안정적인 박막 품질과 생산 흐름을 지원하는 인라인 스퍼터 장비

적용 공정 인라인 스퍼터 코팅
처리 방식 연속 이송 / 스퍼터 증착 / 공정 제어
주요 특징 생산 연속성 / 균일한 박막 / 자동화 대응
제품 크기, 생산량, 목표 박막에 따라 챔버 수, 이송 방식, 스퍼터 소스 구성을 맞춤 설계할 수 있습니다.
Inline Transfer
Sputter Deposition
Process Control
Uniform Coating

Specifications

기본 사양이며, 고객의 요청에 의한 맞춤형 사양 변경이 가능합니다.

Inline Sputter Specification
Application Inline sputter coating -
Process Continuous transfer / Sputter deposition -
Feature Uniform coating / Automated production / Custom configuration -

장비 사진

인라인 스퍼터 장비의 주요 외관과 구성 요소를 확인할 수 있는 장비 이미지입니다.

장비 정면

장비 정면

인라인 스퍼터

인라인 스퍼터

장비 후면

장비 후면

전장비 공통 특징

완전자동화

Process Control

Data Logging