증착 물질
SiO₂, TiO₂, ZrO₂ 등 공정 목적에 맞는 증착 물질을 공급합니다. 광학막, 보호막, 기능성 박막 등 요구 사양에 따라 적합한 소재를 검토합니다.
증착기 및 진공기기 운용에 필요한 소모품과 유지보수 부품 공급
진공 코팅 장비는 증착 재료, 소스 부품, 센서, 오일, 씰링 부품, 히터, 치구류 등 소모품 상태에 따라 공정 안정성과 장비 가동률이 달라집니다. SY Vacuum은 장비 운용과 유지보수에 필요한 주요 소모품과 교체 부품을 공급해 안정적인 생산과 빠른 정비를 지원합니다.
SiO₂, TiO₂, ZrO₂ 등 공정 목적에 맞는 증착 물질을 공급합니다. 광학막, 보호막, 기능성 박막 등 요구 사양에 따라 적합한 소재를 검토합니다.
Crucible liner, E-beam 및 I-beam용 filament, 관련 source 부품을 공급합니다. 소스 상태를 안정적으로 유지해 증착 재현성과 장비 가동률을 높입니다.
저항가열식 증착 공정에 필요한 RHS boat, W/Mo filament 등 주요 소모품을 공급합니다. 공정 온도와 증착량에 맞춰 교체 주기를 관리할 수 있습니다.
막 두께 모니터링에 필요한 crystal sensor와 monitor glass를 공급합니다. 증착량 확인, 공정 재현성 관리, 품질 추적에 필요한 핵심 소모품입니다.
DP, RP, MBP용 vacuum oil과 O-ring 등 진공 유지에 필요한 부품을 공급합니다. 오염과 누설을 줄이고 목표 진공도 유지에 도움을 줍니다.
Micro sheathed heater, halogen heater, DP heater와 Pirani, Penning, Convectron, hot cathode type sensor 등 운전 상태 확인에 필요한 부품을 공급합니다.
내피, uniformity mask, shutter, dome, substrate holder, segment dome, flip-over jig, planetary basket 등 기판 장착과 막 균일도 관리에 필요한 치구류를 지원합니다.
MFC, 밸브류, 전기·전자 부품, 각종 컨트롤러 등 장비 운전과 보수에 필요한 구성품을 공급합니다. 장비 모델과 공정 조건에 맞춰 호환성을 검토합니다.
