System Overhaul
장비 전체 상태를 점검하고 노후 부품, 배관, 배선, 구동부, 안전 요소를 확인해 장비가 안정적으로 다시 운전될 수 있도록 정비합니다.
진공 코팅 장비의 안정적인 운용을 위한 수리, 점검, 오버홀 및 성능 개선 서비스
진공 코팅 장비는 챔버, 펌프, 소스, 치구, 제어 시스템이 함께 안정적으로 동작해야 공정 품질을 유지할 수 있습니다. SY Vacuum은 장비 상태 진단부터 주요 부품 오버홀, 공정 목적 변경에 따른 개조, 제어 및 모니터링 시스템 개선까지 장비의 사용 가치를 오래 유지할 수 있는 서비스를 제공합니다.
장비 전체 상태를 점검하고 노후 부품, 배관, 배선, 구동부, 안전 요소를 확인해 장비가 안정적으로 다시 운전될 수 있도록 정비합니다.
DP, RP, MBP 등 주요 진공 펌프의 성능 저하, 오염, 누유, 소음, 배기 속도 문제를 점검하고 필요에 따라 오버홀 및 교체를 지원합니다.
제품 형상, 기판 크기, 생산 방식 변경에 맞춰 지그와 회전 구조, 고정 방식을 개선해 장착성, 반복성, 공정 균일도를 높입니다.
공정 목적에 따라 전자빔 소스를 추가하거나 개조하고, 이온빔 소스를 적용해 박막 품질, 밀착력, 공정 확장성을 개선합니다.
노후 제어부, 조작 화면, 인터록, 알람, 레시피 운전 기능을 개선해 운전 편의성, 안전성, 유지보수성을 높입니다.
OPM 부착 등 막 두께 모니터링 구성을 검토해 증착량 확인, 공정 재현성 관리, 품질 추적이 가능하도록 지원합니다.
챔버 용량, 목표 진공도, 배기 시간, 공정 가스 조건에 맞춰 펌프, 밸브, 배관 구성을 재검토하고 배기 성능을 개선합니다.
장비 상태와 개선 목적을 확인한 뒤 필요한 작업 범위를 정리하고, 수리·개조 방향과 견적 검토를 지원합니다.
