전자빔 소스
고출력 전자빔 증착 공정에 필요한 E-beam source를 공급합니다. 금속, 산화물, 광학 박막 등 다양한 증착 재료에 대응하며, 출력과 beam deflection 조건을 장비 사양에 맞춰 검토합니다.
진공 코팅 장비의 공정 제어와 증착 품질을 위한 핵심 진공 부품 공급
진공 코팅 장비의 성능은 증착 소스, 이온 보조 공정, 진공 계측 부품의 안정성에 크게 영향을 받습니다. SY Vacuum은 박막 두께 제어와 공정 재현성, 증착 품질 개선에 필요한 핵심 진공 부품을 공급하고 장비 조건에 맞는 적용을 지원합니다.
고출력 전자빔 증착 공정에 필요한 E-beam source를 공급합니다. 금속, 산화물, 광학 박막 등 다양한 증착 재료에 대응하며, 출력과 beam deflection 조건을 장비 사양에 맞춰 검토합니다.
End-Hall type 이온빔 소스는 박막 밀착력, 표면 활성화, 보조 증착 공정에 활용됩니다. Ar, O₂ 등 공정 가스와 전압·전류 조건을 고려해 적용성을 검토합니다.
레이저 광학, precision optic coating, 안경렌즈 AR coating 등 광학 두께 제어와 막 균일도가 중요한 공정에 적합한 부품 구성을 지원합니다.
기존 장비 사양, 공정 목적, 목표 박막, 제어 방식에 따라 적합한 진공 부품과 교체·추가 적용 방향을 함께 검토합니다.
